| Class Name | Class Limits | 표기방법 예 1) Class M 2.5 (at 0.3㎛ & 0.5㎛) 2)Class 100 (at 0.5㎛) 3)U(20) Class M1.5 (at 0.3㎛), U(2000) |
||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 5㎛ | ||||||||
| Vol. Units | Vol. Units | Vol. Units | Vol. Units | Vol. Units | ||||||||
| SI English | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | ||
| M1 | 1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.286 | |||
| M1.5 | 1240 | 35.0 | 265 | 7.5 | 106 | 3.0 | 35.3 | 1.00 | ||||
| M2 | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | ||||
| M2.5 | 10 | 12400 | 350 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | |||
| M3 | 35000 | 991 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.6 | ||||
| M3.5 | 100 | 26500 | 75.0 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | |||||
| M4 | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | ||||||
| M4.5 | 1000 | 35300 | 100 | 247 | 7.0 | |||||||
| M5 | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | ||||||||
| M5.5 | 10000 | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | |||||||
| M6 | 1000000 | 28600 | 6180 | 175 | ||||||||
| M6.5 | 1000000 | 3530000 | 100000 | 24700 | 100 | |||||||
| M7 | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | ||||||||
(주) 표에 나타만 클래스 외의 입자농도를 나타내는 값은 다음식으로부터 구할 수 있다.
- SI 단위 : C= 10M(0.5/Dp)2.2 or M=log10[C³ (0.5/Dp)-2.2]
- English 단위 : C=Nc(0.5/Dp)2.2 or Nc=C³(0.5/Dp)-2.2
여기서 C : 입자농도 [SI 단위:Particles/m²],[English 단위:Particles/ft³]
M : Class[SI 단위], Nc:Class[English 단위], Dp:입자직경[㎛]
| Standard [ A.F.S ] |
1ft³ 중의 균의 최대수 Biological Particles per cu.ft |
1ft³ dp 1주일간 낙하균의 평균 Biological Particles per sq. ft. week |
● CFU : Colony Forming Unit ● 입자에 의한 Class표시와 균수와의 관계는 표준치로서 미 항공 우주국 규격(NASA)이 있다. |
|---|---|---|---|
| Class 100 | 0.1 CFU/ft³ | 1,200 CFU/ft³ week | |
| Class 1,000 | 0.5 CFU/ft³ | 6,000 CFU/ft³ week | |
| Class 10,000 | 2.5 CFU/ft³ | 30,000 CFU/ft³ week |
